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PMT-2十大应用之---电子硫酸的颗粒管控

阅读次数:1716     发布时间:2023/10/18 11:17:54


电子硫酸又称高纯硫酸、超纯硫酸,属于超净高纯试剂,广泛应用于半导体、超大规模集成电路的装配和加工过程,主要用于硅晶片的清洗和蚀刻,可有效除去晶片上的杂质颗粒,无机残留物和碳沉积物。

电子硫酸管控有2难点,一个是硫酸的腐蚀性,一个是硫酸的浓度。98%浓度的电子硫酸的腐蚀性很强,这个就要求颗粒管控的仪器的耐强腐蚀很强。高浓度的硫酸检测,接液材质达不到这个检测浓度就无法需要稀释检测,稀释又会存在手动稀释和自动稀释的问题,都是给电子硫酸检测无形中增加了麻烦。

针对这2个问题,普洛帝研发团队经过反复试验,攻破了这2个难点,将电子硫酸的检测浓度提升到98%。在高浓度强酸性的情况下,依然可以实现颗粒管控的准确性。这款仪器就是普洛帝自主研发的品牌型号PMT-2,选用0.1-1.0um检测范围的强腐蚀性传感器,实现了电子硫酸的颗粒管控目的。目,已经在江苏、广东等地的电子硫酸生产企业得到了应用。

技术参数:

订制要求:各类液体检测要求;

传感器:第八代双激光窄光检测器;

测试软件:V8.3分析测试软件集成版&PC版;

测试标定:JJG1061或乳胶球或ISO21501

操作方式:彩色液晶触摸屏操作&无线键鼠组合;

检测范围:0.1-0.5um、0.1-1.0um

特殊检测:自定义1~100μm或者4~70µmc)微粒,0.1μm或者0.1µmc)任意检测;

进样精度:<±1%

重合精度:1000/mL2.5%重合误差);

模拟输出:4mA20mA接口;并带超标报警功能(可定制);     

报告方法:颗粒数/ml及污染度等;

输入电压:100V265V,50Hz60Hz

售后服务:普洛帝服务中心/中特计量检测研究院。

原创作者:普洛帝中国服务中心/陕西普洛帝测控

公司主营产品:

颗粒计数器|颗粒计数|颗粒计数系统|油液颗粒度分析|颗粒度瓶|油液取样器|石油仪器

公司名称:普洛帝中国服务中心/陕西普洛帝测控 公司地址:西安市航天基地航创国际广场(服务地址) 邮政编码:710100 邮箱:15309236700@126.com

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