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液体颗粒计数器判定电子硫酸等的应用
阅读次数：496 发布时间：2024/4/2 9:09:31
1、电子硫酸作用：强酸性清洗、腐蚀剂，在集成电路制程应用多。
2、电子硫酸判定指标：金属杂质、控制粒径、颗粒数、IC线宽；
3、检测仪器：四个判定指标中粒径的大小和数量的多少用液体颗粒计数器来检测。
4、仪器原理：液体颗粒计数采用光散射原理，当粒子通过光敏感区的时候发生散射，利用散射光采集装置收集粒子散射光强，并通过处理电路进行波形调整，用单片机来处理采集到的数据。
5、PMT-2 液体颗粒计数器：是普洛帝测控独立研发、生产、销售、售后的颗粒管控仪器。防腐型主要应用于电子湿化学品的单酸碱、混合溶液、溶剂类的高纯试剂的颗粒度检测。通过颗粒的大小和数量的多少来判定电子湿化学品的等。
6、检测过程：用PMT-2 液体颗粒计数器，检测4种不同纯度的电子硫酸。检测数据备用。
7、电子化学品SEMI标准等表
| 等 | IC线宽 | 金属杂质 | 控制粒径 | 颗粒（个/mL） | 应用 |
| C1（G1） | ＞1.2 | ≤1000（1ppm） | ≤1.0 | ≤25 | 分立器件、太阳能电池 |
| C7（G2） | 0.8~1.2 | ≤10（10ppb） | ≤0.5 | ≤25 | 显示面板 |
| C8（G3） | 0.2~0.6 | ≤1.0（1ppb） | ≤0.5 | ≤3 | 大规模集成电源（IC）、 超高清LCD、OLED显示面板 |
| C12（G4） | 0.09~0.2 | ≤0.1（0.1ppb） | ≤0.2 |
| 超大规模集成电路（IC）、超高清LCD、OLED显示面板 |
| （G5） | ＜0.09 | ≤0.01 | 双方协商 | 双方协商 | 超大规模集成电路（IC） |
对照此表格，看您的电子硫酸的等，将对应等的电子硫酸应用到不同域。
8、注意事项：
仪器放置到十清洁台内，减少空气中大颗粒进入液样造成的二次污染。
在使用应对仪器进行校准，以确保检测结果的准确性。
避免交叉污染：清洗容器，避免容器壁上的颗粒进入检测液样。
操作人员要穿戴洁净工作服，戴洁净手套、口罩进行整个测样过程。
原创作者：普洛帝中国服务中心/陕西普洛帝测控
