电子硫酸颗粒管控的难点及解决方法

阅读次数：333     发布时间：2024/4/22 9:48:22

电子硫酸又称高纯硫酸、超纯硫酸，属于超净高纯试剂，是一种微电子技

术发展过程中不可缺少的关键基础化学试剂。

二、电子硫酸有哪些应用

电子硫酸广泛应用于半导体、超大规模集成电路的装配和加工过程，主要

用于硅晶片的清洗和蚀刻，可有效除去晶片上的杂质颗粒，无机残留物和碳沉积

物。

三、为什么要对电子硫酸进行颗粒管控？

电子硫酸的纯度和洁净度对电子元的件成品率、电性能及可靠性有着重要 的影响。电子硫酸是芯片制造工艺中用量的电子化学品，主要用于去除晶

圆片上残留的金属和有机物杂质，质量要求高，产品中金属离子须达到 ppt

目，我国电子硫酸产品依赖德国 BASF 等外企进口，严重制约我国

芯片产业发展，是主要“卡脖子”产品。近两年，我国电子硫酸制备技术取得突破，产品质量显著提高，电子硫 酸产品中金属离子浓度均小于 10ppt，超越了 SEMI-C12（金属离子<100ppt） 别，与电子化学品供应量、品质的巴斯夫电子硫酸品质处同一（金属离子<10ppt），达到国内先、水平。基于上述原因，我国新的电子硫酸标准将于 2023 年 5 月 1 日正式施行，也将颗粒管控提到了标准管控层面

四、电子硫酸管控有哪些难点

有 2 个，一个是硫酸的腐蚀性，一个是硫酸的浓度。98%浓度的电子硫酸 的腐蚀性很强，这个就要求颗粒管控的仪器的耐强腐蚀很强。高浓度的硫酸检测， 接液材质达不到这个检测浓度就无法需要稀释检测，稀释又会存在手动稀释和自动稀释的问题，都是给电子硫酸检测无形中增加了麻烦。

五、如何解决

针对这 2 个问题，普洛帝研发团队经过反复试验，攻破了这 2 个难点，将电 子硫酸的检测浓度提升到 98%。在高浓度强酸性的情况下，依然可以实现颗粒 管控的准确性。这款仪器就是普洛帝自主研发的品牌型号 PMT-2，选用 0.1-1.0um 检测范围的强腐蚀性传感器，实现了电子硫酸的颗粒管控目的。目，已经在

江苏、广东等地的电子硫酸生产企业得到了应用。

原创作者：普洛帝中国服务中心/陕西普洛帝测控